DMF de nível eletrônico (maior ou igual a 99,99%)
DMF de nível eletrônico (maior ou igual a 99,99%) identidade do produto
Ultra-alta pureza DMF (Cas 68-12-2) para litografia semicondutora, atendendo aos padrões semi-C12 .
Destaques únicos
Sub-PPB metais: Cu/Ni/Fe menor ou igual a 0,05 ppb (ICP-MS validado)
Controle de nanopartículas: Menor ou igual a 5 partículas/ml (maior ou igual a 0,1μm, sLAs -4)
Aplicação crítica: Tripação fotorresistente EUV (l/s 5nm nós)
Especificação técnica
| Parâmetro | Valor |
|---|---|
| Conteúdo de anisol | Menor ou igual a 1 ppm |
| Constante dielétrica | 36,91 ± 0,02 (25 graus) |
| Outgas (TGA) | Menor ou igual a 50 ug/cm² |
Embalagem
20L Garrafas HDPE fluoradas
CLASS
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